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マスクアライナー

C to C のオート一括等倍露光マスクアライメント装置です。

マスクと完全非接触でギャップ管理を行います。
もちろんソフト、ハードコンタクトにも対応！
低価格、コンパクト、オートアライメントを実現しました。


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Description

C to C のオート一括等倍露光マスクアライメント装置です。

マスクと完全非接触でギャップ管理を行います。
もちろんソフト、ハードコンタクトにも対応！
低価格、コンパクト、オートアライメントを実現しました。


3つの特徴

  • 1完全非接触での
    平行出し＆露光    高精度レーザー変位計で
    平行度調整を行い、
    そのまま非接触露光を行うため
    マスクが傷つきません！

  • 2省スペース＆
    簡単メンテナンス    小型ロボットを使用し
    1m×1mと省スペースを実現。
    さらに、センターロボット
    レイアウトの採用により
    メンテナンスが簡単に行えます。

  • 3オートアラインメント信頼性のある
    FAST社製の画像処理で
    高精度オートアラインメント可能！

従来方式との比較

  • 従来方式

  • ボールギャップ方式

    ギャップボールにより3箇所にダメージあり！

  • ASAP方式

  • 完全非接触でギャップコントロール　平行度管理が可能

    ASAP方式

    非接触なのでマスク・ウエハに傷がつかない！


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