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FM-224シリーズ
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FM-224シリーズ

ウェハーマウンター/テープマウンターとは、『ウェハー』『ダイシングフレーム』『各種フィルム/テープ』を気泡なしで瞬時に貼り付けるテープ貼り付け装置です。
ダイシングの工程で重要とされる”ウェハーへの均一なテープ貼り付け”を、容易に行うことができます。
テクノビジョンのウェハーマウンターは、研究開発を始めセミプロダクション用途まで、目的に合わせ幅広く装置の選択ができます。
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Description
ウェハーマウンター/テープマウンターとは、『ウェハー』『ダイシングフレーム』『各種フィルム/テープ』を気泡なしで瞬時に貼り付けるテープ貼り付け装置です。
ダイシングの工程で重要とされる”ウェハーへの均一なテープ貼り付け”を、容易に行うことができます。
テクノビジョンのウェハーマウンターは、研究開発を始めセミプロダクション用途まで、目的に合わせ幅広く装置の選択ができます。

仕様


モデルウェハーサイズ装置サイズ:(WxDxH)(mm)
FM-224312インチまで510mm(W) x 860mm(D) x 330mm(H)
FM-22488インチまで455mm(W) x 780mm(D) x 300mm(H)
FM-22466インチまで375mm(W) x 760mm(D) x 230mm(H)

モデルウェハーサイズバックグラインド/BG用途
FM-2243-BG12インチまで300mm/12 対応装置
FM-2248-BG8インチまで200mm/8 対応装置
FM-2246-BG6インチまで150mm/6 対応装置

特長



機能
1瞬時にバブルフリー貼り付けが出来ます。
2貼付けローラーの自動平衡機構内蔵。
3円周カッター内蔵。
4水平カッター内蔵。
5セパレーター巻き取り機構内蔵。
6オプション:ヒーターユニット、ダンパー、静電気対策

各種オプション



静電気除去ユニット

ダンパー

ヒーターユニット

テープ貼り付け手順


■マニュアル・タイプの貼り付け手順例


貼り付け手順
1ダイシングフレームを装置の所定の位置に、オリフラやノッチを基準に位置決めしセット
2固定(吸着スイッチON)
3ウェハーをセット
4固定(吸着スイッチON)
5装置奥にあらかじめセットしていたテープの端を持ち、手前に引き出し、バーに固定
6貼付用のローラーを手前に引きながら、テープを貼り付け。ローラーを奥に戻す
7カッターユニットのカバーを閉じ、円形カット用カッターで周りをカット
8装置奥にある水平カッターでロールから切り離す
9カバーを開け、切り離した余分なテープを取り除く
10フレームおよびウェハーの固定を解除(吸着スイッチOFF)
11貼り付け完了


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