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自动光罩曝动装置
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自动光罩曝动装置

完全非接触式的平行曝光

以高精度雷射变位计进行平行度调整，调因为是非接触式进行曝光所以不会造成光罩的损伤

省空间维护简单

使用小型 Robot ，实现 1m×1m 的省空间规格。另外，因採用为 CentreRobot 的 Layout ， 所以能简单进行维护

自动alignment

使用具有高度信赖性的FAST社製画像处理技术，达成高精度的自动 alignment

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商品描述

完全非接触式的平行曝光

以高精度雷射变位计进行平行度调整，调因为是非接触式进行曝光所以不会造成光罩的损伤

省空间维护简单

使用小型 Robot ，实现 1m×1m 的省空间规格。另外，因採用为 CentreRobot 的 Layout ， 所以能简单进行维护

自动alignment

使用具有高度信赖性的FAST社製画像处理技术，达成高精度的自动 alignment

C to C自动批量曝光掩模对准装置。

间隙管理完全不与掩模接触。
当然也支持软硬接触！
实现低成本、紧凑和自动对齐。


三大特点

  • 1完全非接触式
    平行曝光&曝光    使用高精度激光位移计
    调整平行度
    ，原样进行非接触式曝光，
    不会损坏掩模！

  • 2节省空间且
    易于维护    使用小型机器人
    实现 1m x 1m 的空间节省。
    此外，采用中心机器人
    布局，便于
    维护。

  • 3自动对齐通过可靠的
    FAST 图像处理
    可以实现高精度的自动对齐！

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