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高刚性研磨机：HRG3000
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高刚性研磨机：HRG3000

全自动高刚性三轴研磨机,可实现快速无损伤加工。 加工成本低，加工精度高，实现镜面加工。

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商品描述

全自动高刚性三轴研磨机,可实现快速无损伤加工。 加工成本低，加工精度高，实现镜面加工。

特征


规格

 


No类别HRG3000X
全自动高刚性三轴研磨机
1外观尺寸: 1750 (W) x 3525 (D) x 1978 (H) mm
重量：11000 kg
2最大晶圆尺寸   (mm)300
3磨轮直径   (mm)300
4磨轮转速(rpm)3600
5工作台转速(rpm)650
6磨轮主轴功率(kw)11
7单片总厚度偏差: TTV (μm)0.5   (带自动TTV功能)
8片与片厚度偏差: WTW (μm)±0.5   (带自动TTV功能)



No类别RM3000-HRG
1外观尺寸: 1500 (W) x 4250 (D) x 1800 (H) mm
重量：1600 kg
2最大晶圆尺寸   (mm)300
3最大切割胶膜直径   (mm)φ   230 (单卷宽度430 mm)
4最大揭膜胶带直径   (mm)φ   200 (单卷宽度 50 mm)
5晶圆贴膜精度对工作台盘中心精度在   0.5 mm以内对框架缺口的角度偏差0.5 度以内


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