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高刚性研磨机：HRG300/HRG300A
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高刚性研磨机：HRG300/HRG300A

HRG300 既可以对大尺寸晶圆（300 ｍｍ）进行单 枚加工，也可以对小直径工件进行多枚同时加工。

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商品描述

HRG300 既可以对大尺寸晶圆（300 ｍｍ）进行单 枚加工，也可以对小直径工件进行多枚同时加工。

特征


规格

NO.项目HRG300
高刚性研磨机
1外形尺寸和重量尺寸：1540（W）X1880（D）X2010（H）重量：3700kg
2最大加工直径（mm）300
3磨轮直径（mm）300
4磨轮转速（rpm）3600
5工作台转速（rpm）400
6主轴功率（Kw）11
7工作台功率（Kw）2
8全自动监测实时测量治具（支持多片同时加工）
9研磨精度（μｍ）0.1


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