OTL系列

全自动BG胶带贴合机是一种自动设备，可以在施加背面研磨胶带后切割外周，以达到表面保护的目的，同时控制张力。采用独特的滚轮结构进行粘贴。

它可以在几乎没有张力的情况下贴附在胶带上，并有效减少背面研磨后薄晶圆的翘曲。

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商品描述

全自动BG胶带贴合机是一种自动设备，可以在施加背面研磨胶带后切割外周，以达到表面保护的目的，同时控制张力。采用独特的滚轮结构进行粘贴。

它可以在几乎没有张力的情况下贴附在胶带上，并有效减少背面研磨后薄晶圆的翘曲。

特征

兼容200/300mm晶圆贴膜

配备FOUP/FOSB上料装置，支持300mm和200mm晶圆生产线。

采用自研发的大滚轴，实现了低张力的粘接。

减少回磨后的翘曲/损坏问题。

无需从晶圆外围伸出，减少BG的麻烦

它对过程自动化和质量控制非常有用

它对应的是WL-CSP工艺中必不可少的高凸点带。

研磨后翘曲实验叁考数据

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