全自动BG胶带贴合机是一种自动设备,可以在施加背面研磨胶带后切割外周,以达到表面保护的目的,同时控制张力。采用独特的滚轮结构进行粘贴。
它可以在几乎没有张力的情况下贴附在胶带上,并有效减少背面研磨后薄晶圆的翘曲。
特征
配备FOUP/FOSB上料装置,支持300mm和200mm晶圆生产线。
采用自研发的大滚轴,实现了低张力的粘接。
减少回磨后的翘曲/损坏问题。
无需从晶圆外围伸出,减少BG的麻烦
它对过程自动化和质量控制非常有用
它对应的是WL-CSP工艺中必不可少的高凸点带。
研磨后翘曲实验叁考数据
购买人 | 会员级别 | 数量 | 属性 | 购买时间 |
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