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OEX-SA-シリーズ セミオートタイプ
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OEX-SA-シリーズ セミオートタイプ

ウエハエキスパンダーはエキスパンド、グリップリングのはめ込み、テープカットをワンタッチで行う卓上タイプのエキスパンド装置です。

适用工件尺寸:最大12英寸


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Description

ウエハエキスパンダーはエキスパンド、グリップリングのはめ込み、テープカットをワンタッチで行う卓上タイプのエキスパンド装置です。

适用工件尺寸:最大12英寸



特長

高精細エキスパンド

モーター駆動により、高精細なエキスパンドを実現。拡張精度もUPしました。

速度・高さ調整が簡単、精密に

エキスパンドのストローク、スピードをタッチパネルでらくらく設定。
各設定をタッチパネルでデジタル入力するため、数値による管理を行う事が出来ます。 作業者、ロッド毎のバラツキを防ぎます。

ステージ温調機能

ステージ内蔵ヒーターにより、常温~80℃までの温調が可能。テープの拡張性を広げます。

コンパクトデザイン

テーブルトップタイプのコンパクト設計ながらも、自動カット機能を内蔵。
ワンタッチでカットまで行うセミオートとしては格段にコンパクト!!

フルオート対応

ご要望に応じてフルオートへの対応も可能。
一連の作業のさらなる自動化が図れます。

大型タッチパネル

仕様


8inch12inch
寸法W480 × D600 × H564(㎜)W600 × D720 × H648(㎜)
重量約 60 kg約 80 kg
拡張高さ10mm ~ 55mm 停止精度 ±0.1mm10mm ~ 55mm 停止精度 ±0.1mm
昇降速度1 ~ 20mm/sec 0.1mm/s単位での調整可能1 ~ 20mm/sec 0.1mm/s単位での調整可能
温度調整室温 ~ 80°C室温 ~ 80°C 
対応サイズ8inchダイシングフレーム12inchダイシングフレーム
エアー0.4 ~ 0.5Mpa以上 5L/min以上0.4 Mpa以上 10L/min以上
電源AC100V 50/60Hz 10AAC220V ±10% 50/60Hz 20A


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