200mm／8インチ対応のUV硬化装置と300mm／12インチ対応のUV硬化装置がございます。ワークを回転させながら照射させるため、ウェハー全領域に均一なUV照射を行なう事が出来ます。

さらに、テクノビジョン独自の高効率、小流量N2置換機能が搭載されています。N2の使用量が従来装置と比べてはるかに少なく、しかも確実な置換効果が得られます。これらの特長は、低消費電力化、微量なガス消費など、装置のランニングコストの低減に大きく貢献します。

また、装置コストの削減、高価なクリーンルームの設置スペースの減少など、総合的な製造プロセスの効率化が図れます。