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FM-664シリーズ

プリカットテープとノーマルテープ両方に対応できる装置として開発されました。もちろん、プリカットテープ専用装置、ノーマルテープ専用装置として使用できるだけでなく、下記の用途に対応できる多様な装置です。
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Description
プリカットテープとノーマルテープ両方に対応できる装置として開発されました。もちろん、プリカットテープ専用装置、ノーマルテープ専用装置として使用できるだけでなく、下記の用途に対応できる多様な装置です。

仕様

モデルウェハーサイズ装置寸法（mm）
FM-66488インチまで1,220mm（W） x 660mm（D） x 1,620mm（H）
FM-664312インチまで1,710mm（W） x 975mm（D） x 1,570mm（H）

特長


機能
1貼付け圧力、スピードなど照条件設定可。
2ノーマルテープの貼付けピッチ可変。
3テンションフリー貼付け。
4バブルフリー貼付け。
5静電気除去ユニット装備。
6オプション：ヒーターユニット。
7小型、軽量、小フットプリント。

各種オプション

ヒーターユニット
ヒーターユニット

テープ貼り付け手順

■マニュアル・タイプの貼り付け手順例


貼り付け手順
1ダイシングフレームを装置の所定の位置に、オリフラやノッチを基準に位置決めしセット
2固定（吸着スイッチON）
3ウェハーをセット
4固定（吸着スイッチON）
5スタートボタンを押す（自動運転）


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