特征

• Foot print
  高剛性機構での省フットプリントを実現
• 多様なワーク対応
  ・250 mm 角、300 × 250 mm
  ・ワーク複数枚貼り付けアライメント
  ・変形、伸縮のワークアライメント
• 高分解能顕微鏡
  顕微鏡分解能の向上
• 操作性
  17インチタッチパネル搭載による操作性の向上

• 多様なワークに標準対応
  ①12’フレーム搭載可能
  ②250 mm 角、300 × 250 mm
• 最高回転数6万回転のスピンドルを標準装備
  （オプションで8万回転仕様及び3万回転2.2kw高出力対応可）
• スループットの向上
• 17インチタッチパネル式液晶モニタ＋新GUI
  GUI（グラフィカル・ユーザ・インターフェース）を搭載し、見やすい画面構成と大型ボタンにより操作性を向上させると共に、対話形式による判りやすい入力形式を採用。
• 複雑なパラメータ設定無しでのカーフチェック機能搭載
  （AIカーフチェック機能）
• HDD内にレシピデータを10,000件以上管理可能
• USBポート標準搭載
  （USBメモリを外部記憶装置として使用可能）
• メンテナンス性向上
  フロントアクセスドアの大型化によりメンテナンス性を改善
• エコ機能標準搭載
  バキュームコントロール制御の最適化にてエアー消費量を当社従来機比50％以上削減します。

规格