特長

高精度、ハイスループット（インデックス移動、ウェーハハンドリング、ウェーハアライメント）、低振動、静粛を高水準で達成した新世代高性能プロービングマシンです。

新たにウィルス・マルウェア対策ソフトウェアを標準搭載しました。

また、前機種からの機能と操作性を継承、レシピ・マップデータの互換性も維持し、安全・安心・簡単にご使用いただけます。

オプション

ニードルクリーニング対応

クリーン化対応

各種テストヘッド / プローブカード接続パーツ

ローダ：２ローダ / AMHS との自動化対応

ヘッドステージチルトユニット（プローブカードチルトユニット）

チャック：常温 / 高温 / 低温 /（各ローノイズ）

APC：プローブカード自動交換

カセット ID リーダ

ウェーハ ID リーダ（表面 / 裏面）

GB-IB インターフェース

ウェーハプロービングマシンネットワークシステム (Veganet、Light-Veganet、Vega-Planet、GEM）

PCAS（プローブカードオートセットアップ）

プローブカードPGV