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TAIKO工艺介绍
来源:GT | 作者:GT | 发布时间: 1021天前 | 13289 次浏览 | 分享到:

TAIKO工艺,于以往的背面研削不同,在对晶圆进行研削时,将保留晶圆外围边缘部分(约3 mm左右),只对圆内进行研削薄型化的技术。

TAIKO工艺


完成TAIKO后,晶圆背面会形成凸起。传统的滚压法,由于贴合时的压力不均匀,会出现晶片上的应力和残留空隙等问题,无法进行背面贴膜。

真空贴片机解决了这些问题,通过设置贴合速度、真空度、压差、大气释放速度等参数,将胶带粘贴到具有大台阶的晶圆上。实现了无气泡、低应力的贴片。


推荐适用贴膜设备:OKK真空贴膜机