モデル | ウェハーサイズ | 装置サイズ:(WxDxH)(mm) |
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FM-2243 | 12インチまで | 510mm(W) x 860mm(D) x 330mm(H) |
FM-2248 | 8インチまで | 455mm(W) x 780mm(D) x 300mm(H) |
FM-2246 | 6インチまで | 375mm(W) x 760mm(D) x 230mm(H) |
モデル | ウェハーサイズ | バックグラインド/BG用途 |
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FM-2243-BG | 12インチまで | 300mm/12 対応装置 |
FM-2248-BG | 8インチまで | 200mm/8 対応装置 |
FM-2246-BG | 6インチまで | 150mm/6 対応装置 |
機能 | |
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1 | 瞬時にバブルフリー貼り付けが出来ます。 |
2 | 貼付けローラーの自動平衡機構内蔵。 |
3 | 円周カッター内蔵。 |
4 | 水平カッター内蔵。 |
5 | セパレーター巻き取り機構内蔵。 |
6 | オプション:ヒーターユニット、ダンパー、静電気対策 |
■マニュアル・タイプの貼り付け手順例
貼り付け手順 | |
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1 | ダイシングフレームを装置の所定の位置に、オリフラやノッチを基準に位置決めしセット |
2 | 固定(吸着スイッチON) |
3 | ウェハーをセット |
4 | 固定(吸着スイッチON) |
5 | 装置奥にあらかじめセットしていたテープの端を持ち、手前に引き出し、バーに固定 |
6 | 貼付用のローラーを手前に引きながら、テープを貼り付け。ローラーを奥に戻す |
7 | カッターユニットのカバーを閉じ、円形カット用カッターで周りをカット |
8 | 装置奥にある水平カッターでロールから切り離す |
9 | カバーを開け、切り離した余分なテープを取り除く |
10 | フレームおよびウェハーの固定を解除(吸着スイッチOFF) |
11 | 貼り付け完了 |
User name | Member Level | Quantity | Specification | Purchase Date |
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