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SHENZHEN GORGEOUS TECHNOLOGY CO.,LTD.

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OTM-FA系列
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OTM-FA系列

这是一种在切割前将晶片安装在切割框架(胶带框架)上的全自动型设备。
从晶圆盒到[晶圆取出]→[对准]→[胶带贴附到切割框架]→[晶圆安装]→[存储在指定的库中]的一系列操作将自动执行。
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商品描述
这是一种在切割前将晶片安装在切割框架(胶带框架)上的全自动型设备。
从晶圆盒到[晶圆取出]→[对准]→[胶带贴附到切割框架]→[晶圆安装]→[存储在指定的库中]的一系列操作将自动执行。

特征

图案表面的非接触式附着

图案表面的非接触式附着


可以在不吸附图案表面的情况下进行粘贴。

我们提出了一种粘贴方法,可防止因吸附造成的损坏,并考虑到超薄晶圆和 MEMS 等精密晶圆。

不同尺寸的非接触对齐

不同尺寸的非接触对齐矫正器使用我们独创的非接触式方法。通过仅在外周吸附几毫米进行对准,无需担心产品区域的吸痕、颗粒粘附和边缘夹紧导致的边缘崩边。

图案表面非接触处理


图案表面非接触处理非接触式运输也是可能的。可安装外周吸力手、伯努利手等各种手。即使对于有翘曲或挠曲的晶片,我们也会验证转移方法并提出建议。


粘贴

粘贴

我们提出了一种独特的应用程序,该应用程序可以最大限度地减少胶带的消耗,

并抑制由于框架和刀具之间的接触而在切割框架(胶带框架)上产生划痕和金属粉末的产生。

此外,可选配的真空贴附可实现对近年来在 IGBT 中备受关注的 TAIKO 

晶片等有台阶和凹凸的晶片进行贴合,以及对 MEMS 晶片和薄晶片等易碎晶片进行低张力贴合。


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