特征

WH/FH 自动切换

晶圆搬送和框架搬送可自动切换, 减少了切换中的风险, 使得机器停机时间大大减少

标准搭载FOUP opener

自动化操作从而减少了晶圆破损的风险,

封闭式的FOUP 降低lot 处理中的环境污染的风险

标准搭载非接触式工件厚度感应器

搭载air micro 感应器, 可测定工件等的厚度

选配单元的小型化, 内部设计的优化, 使得主要选配单元内藏成为可能。

标准搭载6 万转的主轴

（8 万转选配可对应）

加工效率向上

① X 轴速度1000 mm/s, Y 轴速度300 mm/s, Z 轴速度80 mm/s

Ⓒ搭载2 个光学式测高单元

③世界最小刀片间距

17 英寸触摸屏+ 新GUI

搭载了GUI( 用户操作界面） 易于观察的画面和大型的按钮, 在增强操作性的同时, 采用了对话式的容易理解的输入方式

搭载了无需复杂的参数设定的刀痕检查功能

（AI 刀痕检查功能）

硬盘内可存储和管理10000 个以上的加工参数

标准搭载USB 接口

（可以使用USB 等外部存储设备）

切割台盘面内补正功能 （Active-Z）
对切割台盘面内的不平整进行补正， 实现高精度的切割高度控制

规格