• 气流的流动效率更高，下流导致的干燥度也得到了改善。结果，进一步缩短了干燥时间。

• 彻底消除了粉尘产生因素。请参阅粒子评估结果。

• 机身的设计理念是“不振动的甩干机”。它提供由专有振动分析技术支持的高质量旋转性能。

• 采用独创的自动振动抑制机构（自动平衡器FAB）和晶圆裂纹自动检测机构等选件，使用更加方便。

• 我们在硅和基板以外的材料方面取得了各种成就。

选项

ULPA. 带离子发生器的滑动开/关盖 [高通量]

由于盖子是滑动式的，机器人可以在设备上自由移动，时间大大缩短，包括打开和关闭盖子所需的时间。

・缩短盖子的打开和关闭时间
・机器人的移动空间几乎没有限制
・在开口的正上方站立，可以在打开盖子的同时装载晶片

规格

模型		全自动	半自动/手动
转速 _	2-6英寸	最长 1,000 分钟-¹
	8 英寸
	12英寸	最长 700 分钟-¹
设备尺寸	2-6英寸	750 x 1350 x 1100 (毫米)	750 x 1430 x 1100 (毫米)
	8 英寸	850 x 1450 x 1150 (毫米)	850 x 1530 x 1150 (毫米)
	12英寸	1050 x 1700 x 1170 (毫米)	1050 x 1780 x 1170 (毫米)

姓名	回转式下流式旋转干燥机
目标工作	2-12英寸
电源供应	AC200V (50 / 60Hz)
轴封	防尘密封和强制吸风组合使用
摇篮	可安装2个或4个
速度设定	一档、二档
材料	转盘和支架均为SUS316L（EP）
外部的	PVC
安全机制	异常振动自动停止 防止过载运行
上升时间	12in ... 30 秒内 / 8in 或更少 ... 25 秒内