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UVC-512高圧水銀ランプ仕様
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UVC-512高圧水銀ランプ仕様

UVフィルム硬化装置は、半導体製造のウェハー加工(ダイシングやバックグラインド)工程において使用されるUV/紫外線硬化タイプのフィルムに、加工後、波長365nmの紫外線(UV)を照射する装置です。
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Description
UVフィルム硬化装置は、半導体製造のウェハー加工(ダイシングやバックグラインド)工程において使用されるUV/紫外線硬化タイプのフィルムに、加工後、波長365nmの紫外線(UV)を照射する装置です。

仕様


モデルワークサイズ装置寸法
UVC-512300mm/12”対応650mm(W) × 800mm(D) × 980mm(H)


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