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TEX-21シリーズ エキスパンダー

EXシリーズ「ウェハーエキスパンダー」は、フルカットされたウェハーをダイシングテープごと拡張ステージで引き伸ばし、チップ間隔／ストリート幅を適切な幅に均一に広げることのできるテープ拡張装置です。
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Description
EXシリーズ「ウェハーエキスパンダー」は、フルカットされたウェハーをダイシングテープごと拡張ステージで引き伸ばし、チップ間隔／ストリート幅を適切な幅に均一に広げることのできるテープ拡張装置です。

仕様

モデルウェハーサイズ装置寸法（mm）
TEX-21BG6インチ（150mm）対応340mm（W） x 600mm（D） x 350mm（H）
TEX-218G8インチ（200mm）対応400mm（W） x 690mm（D） x 350mm（H）

特長

1拡張率を任意に設定可能。
2拡張スピードを任意に設定可能。
3高拡張率を可能とするホットプレート搭載ステージ。
4グリップリングで拡張されたフィルムを自動グリップ。
拡張前→拡張後


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