モデル | ウェハーサイズ | 装置寸法(mm) |
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FM-3343 | 12インチまで | 525mm(W) x 940mm(D) x 415mm(H) |
機能 | |
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1 | プリセットされた貼付け条件でオートラミネーション。 |
2 | 静電気除去ユニット装備。 |
3 | 貼付け圧力可変。 |
4 | 貼付けローラーのスピード可変。 |
5 | 円周テープカッター内蔵。 |
6 | 水平テープカッター内蔵。 |
7 | セパレーター自動巻取り機構内蔵。 |
8 | オプション:ヒーターユニット。 |
9 | 小型軽量、テーブルトップ。 |
■マニュアル・タイプの貼り付け手順例
貼り付け手順 | |
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1 | ダイシングフレームを装置の所定の位置に、オリフラやノッチを基準に位置決めしセット |
2 | 固定(吸着スイッチON) |
3 | ウェハーをセット |
4 | 固定(吸着スイッチON) |
5 | 装置奥にあらかじめセットしていたテープの端を持ち、手前に引き出し、バーに固定 |
6 | スタートボタンを押す(自動貼付け動作) |
7 | カッターユニットのカバーを閉じ、円形カット用カッターで周りをカット |
8 | 装置奥にある水平カッターでロールから切り離す |
9 | カバーを開け、切り離した余分なテープを取り除く |
10 | フレームおよびウェハーの固定を解除(吸着OFF) |
11 | 貼り付け完了 |
User name | Member Level | Quantity | Specification | Purchase Date |
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