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FM-903Sセミオートマウンター

最大8インチまでのセミオート式テーブルトップタイプ・ウェハーマウンター。


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Description

最大8インチまでのセミオート式テーブルトップタイプ・ウェハーマウンター。


仕様

モデルウェハーサイズ装置寸法（mm）
FM-903S8インチまで1,000mm（W） x 600mm（D） x 800mm（H）

特長


機能
1自動貼付け、オートフィルムカット機構。
2貼付け圧力/可変。
3貼付けスピード可変。
4貼付けローラー自動平衡機能。
5オプション：ヒーターユニット、静電気対策。
6テーブルトップタイプ

各種オプション

静電気除去ユニット
静電気除去ユニット
ヒーターユニット
ヒーターユニット

テープ貼り付け手順

■マニュアル・タイプの貼り付け手順例


貼り付け手順
1ダイシングフレームを装置の所定の位置に、オリフラやノッチを基準に位置決めしセット
2固定（吸着スイッチON）
3ウェハーをセット
4固定（吸着スイッチON）
5スタートボタンを押す（自動運転）


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