独自の剥離機構の採用によりウエハへのストレスを最小限に抑え、薄ウエハにも対応可能。
オプションで非接触での剥離にも対応。

剥離前にアライメントテーブルでオリフラ・ノッチの角度位置合せとセンタリングを行います。
剥離角度の任意設定も可能。

テープ剥離速度、搬送速度等をタッチパネルにて設定が可能。 ワークにあわせた調整が可能です。

イオナイザーを標準装備。