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OKV-シリーズ

自転式シングルカセットスピンドライヤーは、少量生産~研究開発にピッタリな卓上型のスピンドライヤーです。
卓上型にも関わらず2inch~8inchまで対応し、さらにオプションのワンタッチアタッチメントを取り付けることで誰でも簡単に異サイズカセットの乾燥を行うことも可能です。
その他、チャンバーリンス機能、比抵抗計取り付けなど多彩なオプションを取り揃えております。
従来のN₂置換方式とは異なり、前面扉より環境エアーを取り込む遠心力+吸気乾燥方式を採用しました。

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Description

自転式シングルカセットスピンドライヤーは、少量生産~研究開発にピッタリな卓上型のスピンドライヤーです。
卓上型にも関わらず2inch~8inchまで対応し、さらにオプションのワンタッチアタッチメントを取り付けることで誰でも簡単に異サイズカセットの乾燥を行うことも可能です。
その他、チャンバーリンス機能、比抵抗計取り付けなど多彩なオプションを取り揃えております。
従来のN₂置換方式とは異なり、前面扉より環境エアーを取り込む遠心力+吸気乾燥方式を採用しました。


フットスイッチ

8inch t=2mmのウエハ用に作成。 ワークが重量物で、両手が塞がっていてもドアの開閉が可能。

フットスイッチ

異サイズ兼用アタッチメント

面倒なローター交換が不要! 専用アタッチメントの挿入のみで異サイズのワークに対応。

2段式シングルスピンドライヤー

2段式

2段式シングルスピンドライヤー

省スペースに対応した2段式シングルスピンドライヤー

その他

角基板

角基板への対応実績もございます。その他特殊ワークの乾燥についてもご相談承ります。

仕様

機  種
6inchタイプ

アイボリーも選べます
8inchタイプ

ブラックも選べます
対応ウエハサイズ2~6inch2~8inch
装置寸法W423×D839×H780 (mm)W513×D903×H880 (mm)
本体外装正面・側面:SUS304 背面:PVC
ローター材質SUS304 電解研磨処理
軸シールオイルシールと強制吸引の併用
イオナイザー標準装備
エアフィルターULPA / HEPA 選択可
回転数Max回転数:3,000min-¹Max回転数:2,500min-¹
モーター三相誘導電動機・ビルトイン・カゴ型
タイマー1速~8速 (0~999sec. 8段階設定可)
安全機構前面蓋閉センサ付 ロータ回転中扉ロック機構付
電源三相 AC200V±10% 50/60Hz(端子台)
駆動エアークリーンドライエアー
圧力:0.5MPa以上
空気消費量:250L/min(ANR)
排気口VP50A 1箇所(チャンバーより)
(排気量 800L/min∼1000L/min)
排水口VP25A 1箇所(チャンバーより)


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