特長
パーティクル発生予防
モーター駆動によりパーティクルの発生を予防。
独自のウエハチャック構造
当社独自のウエハチャック構造がウエハ搬送中の揺れを抑え、石英ボートへの移載搬送も確実で、化合物ウエハのような重量物でも正確かつ安全に移載します。
各種オプション
・静電気除去装置（イオナイザー） ・全面カバー ・エリアセンサー
全面カバー・エリアセンサー付移載機
安全は優先順位第1位！小さな投資で大きな安心！！
前面以外の4面（右・左・上・背面）に透明カバーを取り付けました。
作業スペース前面にはエリアセンサーを取り付け、動作中に誤ってキャリア・ボートを
取り出そうとしても非常停止します。これで安全対策は万全です。
