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FBUV-シリーズ ブラックライト仕様

ブラックライト仕様フルオートＵＶ照射機は、カセットにより供給されたウエハフレームを自動で取り出し、
ＵＶ照射・収納する装置です。ダイシング後、ピックアップしやすいようにUVを照射することでテープの粘着力を低下させます。
８inch、１２inchのウエハフレームに自動段取り替えにて対応します。

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Description

ブラックライト仕様フルオートＵＶ照射機は、カセットにより供給されたウエハフレームを自動で取り出し、
ＵＶ照射・収納する装置です。ダイシング後、ピックアップしやすいようにUVを照射することでテープの粘着力を低下させます。
８inch、１２inchのウエハフレームに自動段取り替えにて対応します。

特長

  • カセット単位での全自動照射が可能です。

  • 回転式ターンテーブルでムラ無く均一なUV照射が可能です。

  • 多彩なUV照射条件（時間設定 or 積算光量設定）

  • タッチパネル上でUV照度をリアルタイムで表示します。

  • ブラックライト仕様により低消費電力化。

  • 8inch/12inchカセットに対応。（タッチパネル上より段取り替えが自動で行えます）

loader uv

仕様

寸法W770 × D1090 × H1200(㎜)
重量約 250 kg
駆動エア0.4～0.5Mpa　65L/min
UV照度9mW/cm²以上
N₂0.4～0.5Mpa　100L/min
電源AC100V　50/60Hz　30A


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