特長
コンパクトなボディー
10通りのレシピ設定が可能(設定により速度可変)
タッチパネルで4通りの電力が設定可能
積算照射量・紫外線照射強度を表示(照射時のみ)
照射対象に応じて高圧水銀ランプ / メタルハライドランプの選択可能
異サイズへの切り替えを自動で行う自動段取り替え機能搭載
ダイシングフレームのみならずグリップリングの照射も可能
UV照射の完了と未完了を判別できる機能付

高圧水銀/メタルハライド仕様フルオートUV照射装置は、強い放射エネルギーを持つランプを使用した紫外線硬化装置です。
ワーク投入後、スタートボタンを押すとマガジン内からワークを取出し・UV照射・収納をマガジン内のワークすべての完了までを 全自動で行います。
対象ワークに応じて、高圧水銀ランプ/メタルハライドランプを選択頂けます。
コンパクトなボディー
10通りのレシピ設定が可能(設定により速度可変)
タッチパネルで4通りの電力が設定可能
積算照射量・紫外線照射強度を表示(照射時のみ)
照射対象に応じて高圧水銀ランプ / メタルハライドランプの選択可能
異サイズへの切り替えを自動で行う自動段取り替え機能搭載
ダイシングフレームのみならずグリップリングの照射も可能
UV照射の完了と未完了を判別できる機能付
LSIウエハ・メモリウエハ・LEDウエハ・レーザーウエハ・センサーウエハ・パワーデバイスウエハ その他の様々な工程に流用可能。 ※寸法等は8inchタイプの仕様です。用途
仕様
寸法 W1300 × D1400 × H1350(㎜) 重量 約 400 kg 駆動エア 0.4Mpa以上 UV照度 200mW/cm²以上 N₂ 0.2Mpa以上 100L/min以上 電源 AC 3相 200V 50/60Hz 100A
User name | Member Level | Quantity | Specification | Purchase Date |
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