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FHUV-シリーズ 高圧水銀仕様
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FHUV-シリーズ 高圧水銀仕様

高圧水銀/メタルハライド仕様フルオートUV照射装置は、強い放射エネルギーを持つランプを使用した紫外線硬化装置です。

ワーク投入後、スタートボタンを押すとマガジン内からワークを取出し・UV照射・収納をマガジン内のワークすべての完了までを 全自動で行います。
対象ワークに応じて、高圧水銀ランプ/メタルハライドランプを選択頂けます。

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Description

高圧水銀/メタルハライド仕様フルオートUV照射装置は、強い放射エネルギーを持つランプを使用した紫外線硬化装置です。

ワーク投入後、スタートボタンを押すとマガジン内からワークを取出し・UV照射・収納をマガジン内のワークすべての完了までを 全自動で行います。
対象ワークに応じて、高圧水銀ランプ/メタルハライドランプを選択頂けます。


特長

  • コンパクトなボディー

  • 10通りのレシピ設定が可能(設定により速度可変)

  • タッチパネルで4通りの電力が設定可能

  • 積算照射量・紫外線照射強度を表示(照射時のみ)

  • 照射対象に応じて高圧水銀ランプ / メタルハライドランプの選択可能

  • 異サイズへの切り替えを自動で行う自動段取り替え機能搭載

  • ダイシングフレームのみならずグリップリングの照射も可能

  • UV照射の完了と未完了を判別できる機能付

タッチパネル

用途

LSIウエハ・メモリウエハ・LEDウエハ・レーザーウエハ・センサーウエハ・パワーデバイスウエハ その他の様々な工程に流用可能。

仕様

寸法W1300 × D1400 × H1350(㎜)
重量約 400 kg
駆動エア0.4Mpa以上
UV照度200mW/cm²以上
N₂0.2Mpa以上 100L/min以上
電源AC 3相 200V 50/60Hz 100A

※寸法等は8inchタイプの仕様です。


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