特 征

• 高剛性、高速動作技術に磨きをかけ、精度とスループットを向上。
• 多彩なオプションにより、業界標準では定義されていない様々なウェーハテストへの対応を可能にします。

低温から超高温までの測定環境

テストヘッド用ヒンジ型マニピュレータ

特殊搬送機構による反り・極薄ウェーハ搬送対応

清浄な測定環境を実現するFFU

ローノイズ測定環境

高耐圧測定環境

多彩なネットワーク環境

高速針跡検査機能