特 長

ダイシング・フレームに貼り付けられた切断後のウェーハ、パッケージを独自開発補正技術により精度良く測定します。

オプションによりボタン一つでフレームもウェーハも搬送、テストすることができる、まさにAll-in-oneの多彩なプローバです。

フレーム搬送プローバをリリースして15年の経験から蓄積されたアプリケーションにより、補正点数の最適化を実現します。

オプション

8/12インチウェーハ搬送兼用機構

8インチフレーム搬送機構

複数バーコード管理

清浄な測定環境を実現するFFU

テストヘッド用ヒンジ型マニピュレータ

高温測定環境

超高倍カラー光学系

高速針跡検査機能