特征

ツイン切削ステージ機構と独立した顕微鏡駆動機構

2つの切削ステージ機構ならびに、スピンドル駆動軸と平行な顕微鏡駆動軸を搭載することにより、切削とアライメント並列処理を実現します。

広い切削エリア構成

PS300ではスムーズなスクラップ処理を行えるよう、広大な切削エリアを確保して、メンテナンス性を飛躍的に向上しています。

広く鮮明な画像処理

従来よりもさらに広視野、高解像度の光学系を採用することにより、広視野、且つ鮮明な画像でアライメント等の画像処理を実現。アライメントエラーの低減、及びアライメント時間の短縮を可能としています

17インチタッチパネルモニタを採用

操作画面の大型により、視認性、操作性を向上します。

主なオプション

マクロ視野光学系

SECS機能

マルチ電源対応トランス

比抵抗、流量モニタリング

大容量真空ポンプユニット

USB インターフェイス採用

バージョンアップや品種データの保存などに威力を発揮するインターフェイスとしてUSB 方式を採用します。

规格