特征

• WH/FH自動切り替え
  ウェーハ・ハンドリングとフレーム・ハンドリングを自動で切り替える事により、切替のリスク、ダウンタイムの低減に貢献します
• FOUPS Opener標準搭載
  FOUP蓋の自動開閉によりウェーハ破損のリスク、ロット処理中の感染汚染のリスクを低減します
• 非接触ワーク厚みセンサ標準搭載
  エアマイクロセンサを搭載し、ワーク等の厚みを高精度測定
• オプションユニットの小型化、内部最適設計により主要オプションユニットの内蔵が可能
• 最高回転数6万回転のスピンドルを標準装備
  （オプションで8万回転仕様対応可）
• スループットの向上
  ①X軸速度1,000mm/sec、Y軸速度300mm/sec、Z軸速度80mm/sec
  ②光学式カッタセット部 2個搭載
  ③世界最小ブレード間ピッチ
• 17インチタッチパネル式液晶モニタ＋新GUI
  GUI（グラフィカル・ユーザ・インターフェース）を搭載し、見やすい画面構成と大型ボタンにより操作性を向上させると共に、対話形式による判りやすい入力形式を採用。
• 複雑なパラメータ設定無しでのカーフチェック機能搭載
  （AIカーフチェック機能）
• HDD内にレシピデータを10,000件以上管理可能
• USBポート標準搭載
  （USBメモリを外部記憶装置として使用可能）
• メンテナンス性向上
  フロントアクセスドアの大型化によりメンテナンス性を改善
• 切削テーブル面内補正機能（Active-Z）
  テーブル面内の高さバラツキを補正し、高精度なハイト制御を実現

规格