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リフトオフ装置
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リフトオフ装置

DIP槽を持たないコンパクトな筐体
再付着の無い完全枚葉スピン処理
膨潤処理が必要なく短時間で処理可能
厚膜メタル・微細パターンにも対応可能
ドライエッチング後のレジスト剥離装置としても最適
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Description
DIP槽を持たないコンパクトな筐体
再付着の無い完全枚葉スピン処理
膨潤処理が必要なく短時間で処理可能
厚膜メタル・微細パターンにも対応可能
ドライエッチング後のレジスト剥離装置としても最適

ASAP独自の特殊ノズルを搭載した高圧ジェットリフトオフ装置 

HIGH -SPECハイスペック600枚/日以上
 
全てのオプションを搭載した
ハイスペックモデル


 

STANDARDスタンダード300枚/日以上
ユニット化された
クラスターシステムにより
最適なスペックな
ものを提供可能


R&DR&D(研究開発)300枚/日以下
研究開発用に機能を特化した
コンパクトな装置
特殊な材料やプロセス用に
カスタム対応が可能


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