自動バランス調整装置

永年にわたり培われてきた振動解析技術により開発したスピンドライヤー用の自動バランシング装置をスピンドライヤーの回転部に装着することで、ウエハの枚数を不均衝にセットし回転させても振動が自動で抑制される画期的なオプション装置です。
特に、ウエハの品種違いよる重量差のあるものや、常に投入枚数に変動があるなどの状況では、その効果は抜群です。
多くの重量差や枚数差はないが振動を除去したい場合や、異なるインチサイズのウエハ使用により振動が発生するような状況にオススメします。

・蓋の開閉時間を短縮
・ロボットの移動スペースに制約が少ない
・開口部の真上で待機でき、蓋開と同時にウエハ投入が可能