特長
フレーム反転機能（下向きエキスパンド）※特許申請中
エキスパンド時に発生する屑を下に落下させ、拡張後のチップへの付着を抑制。
高精度エキスパンドステージ
モーター制御による高精度なテープ拡張でより均一性、連続性のあるエキスパンドを実現。
・ステージストローク 0～50mm
・拡張スピード 0.1mm/sec~設定可
低ストローク拡張、低速度拡張など、ワイドな拡張レシピ設定が可能。 （※特許申請中）
除電ブロー機能
エキスパンド時のワークに、イオナイザの除電エアーによるクリーニングを行います。パーティクルの付着防止に効果。
ステージ温調機能
MAX100℃設定可能なステージを搭載。
