特征

• オプションユニットの小型化、内部最適設計により主要オプションユニットの内蔵が可能
• 最高回転数6万回転のスピンドルを標準装備
  （オプションで8万回転仕様対応可）
• ハイスループット
  ①X軸速度1,000mm/sec、Y軸速度300mm/sec、Z軸速度80mm/sec
  ②光学式カッタセット部 2個搭載
• 17インチタッチパネル式液晶モニタ＋新GUI
  GUI（グラフィカル・ユーザ・インターフェース）を搭載し、見やすい画面構成と大型ボタンにより操作性を向上させると共に、対話形式による判りやすい入力形式を採用。
• イージーメンテナンス
  フロントアクセスドアの大型化によりメンテナンス性を改善
• ドレスステージ
  75mm×75mmサイズドレスボードを2枚搭載。 各スピンドルのブレードを専用ボードでドレス可能。
• エアマイクロメータ搭載可能
  テープの厚み、ウェーハの厚みを非接触で計測。 加工高さに反映し、高精度な切り込み位置制御を実現。
• 加工ハイトの高精度化制御
  加工中にX、Y、Z軸を同期制御し、ウェーハのうねりに追従した高精度加工を実現。

规格