尺寸 | W2200 x D1500 x H1800 (mm) | |
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应用 | BG胶带等带保护膜的晶圆 | |
耗时 | 120秒/张 | |
压缩空气 | 0.4MPa以上、150L/min(ANR)以上 | |
真空源 | 工厂真空与真空发生器组合使用 | |
电源供应 | 三相200V 30A |
全自动胶带去除器是一种将附着在晶圆上的保护膜剥离的设备。
由盒子供给的晶圆由对准器定位,剥离胶带后,排出到同一个盒子中。
通过采用独特的剥离机制,晶圆上的应力最小化,可以处理薄晶圆。它还支持非接触式剥离作为选项。
对齐功能
剥离前,在校准台上进行定向平面槽口的角度校准和居中。剥离角度可任意设定。
胶带剥离速度、输送速度等可在触摸屏上进行设置。可根据工作进行调整。
静电对策
标配离子发生器。
传感器检测剥离胶带的剩余量。当剩余量达到 5m(可更改设置)时,将发出警报通知您。消除不必要的设备中断。
尺寸 | W2200 x D1500 x H1800 (mm) | |
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应用 | BG胶带等带保护膜的晶圆 | |
耗时 | 120秒/张 | |
压缩空气 | 0.4MPa以上、150L/min(ANR)以上 | |
真空源 | 工厂真空与真空发生器组合使用 | |
电源供应 | 三相200V 30A |
购买人 | 会员级别 | 数量 | 属性 | 购买时间 |
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