| 模型 | 6寸型  你也可以选择象牙色 | 8寸型  你也可以选择黑色 |
|---|---|---|
| 对应晶圆尺寸 | 2-6英寸 | 2-8英寸 |
| 设备尺寸 | W423 × D839 × H780 (mm) | W513 × D903 × H880 (mm) |
| 车身外观 | 正面/侧面：SUS304 背面：PVC | |
| 转子材料 | SUS304电解抛光处理 | |
| 轴封 | 油封与强制吸风组合使用 | |
| 离子发生器 | 标准设备 | |
| 空气过滤器 | ULPA / HEPA 可选 | |
| 旋转速度 | 最高转速：3,000min-¹ | 最高转速：2,500min-¹ |
| 发动机 | 三相感应电机，内置篮式 | |
| 计时器 | 1 至 8 速（0 至 999 秒。可设置 8 级） | |
| 安全机制 | 带前盖关闭传感器 带转子旋转中门锁机构 | |
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