晶圆转移机是一种自动机器,可在两个方向上将晶圆互相转移,它还支持面对面转载和背对背转载。
通过驱动电机防止产生颗粒。
我们独特的晶圆卡盘结构可抑制晶圆传输过程中的晃动,并且向石英舟的传输传输可靠,因此即使是复合晶圆等重物也可以准确且安全地传输。
・ 静电消除器(离子发生器) ・ 全覆盖 ・ 区域传感器
安全是第一要务!小投资让您高枕无忧!!!
透明盖板安装在除正面之外的四个侧面(右侧、左侧、顶部和背面)上。
工作空间前部安装了区域传感器,如果您在操作过程中不小心试图移除运载船,它将
在紧急情况下停止。这是一个完美的安全措施。
模型 | OTS-15 (独立式) | OTD-25 (桌面型) | OTD-35 (桌面型) |
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级数 | I 阶段 (盒式磁带 x 1) | Ⅱ阶段 (卡带 x 1,船 x 1) | Ⅲ阶段 (卡带 x 2,船 x 1) |
驱动系统 | 电机驱动(伺服) | ||
传输格式 | 1ca 在不同类型的卡带之间传输 | 1ca 到 1bt 双向传输 | 2ca 到 1bt 双向传输 |
转载 速度 | 最少 40 秒 + 磁带更换时间 | 最少 50 秒(可调) | 最少 90 秒(可调) |
设备尺寸 | W400 × D510 × H1187 (mm) | W433 x D490 x H625(毫米) | W629 x D490 x H625(毫米) |
安全机制 | 有无卡匣、有无晶圆、过载检测、异常报警、紧急停止 | ||
电源供应 | AC200V (50 / 60Hz) |
购买人 | 会员级别 | 数量 | 属性 | 购买时间 |
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