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SHENZHEN GORGEOUS TECHNOLOGY CO.,LTD.

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OTS-35
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OTS-35

晶圆转移机是一种自动机器,可在两个方向上将晶圆互相转移,它还支持面对面转载和背对背转载。

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商品描述

晶圆转移机是一种自动机器,可在两个方向上将晶圆互相转移,它还支持面对面转载和背对背转载。


特征

防止粒子产生

通过驱动电机防止产生颗粒。

独特的晶圆卡盘结构

我们独特的晶圆卡盘结构可抑制晶圆传输过程中的晃动,并且向石英舟的传输传输可靠,因此即使是复合晶圆等重物也可以准确且安全地传输。

独特的晶圆卡盘结构


多种选择

・ 静电消除器(离子发生器) ・ 全覆盖 ・ 区域传感器

带全覆盖区域传感器的传送机

安全是第一要务!小投资让您高枕无忧!!!

透明盖板安装在除正面之外的四个侧面(右侧、左侧、顶部和背面)上。
工作空间前部安装了区域传感器,如果您在操作过程中不小心试图移除运载船,它将
在紧急情况下停止。这是一个完美的安全措施。




规格

模型
OTS-15
OTS-15
(独立式)
OTD-25
OTD-25
(桌面型)
OTD-35
OTD-35
(桌面型)
级数I 阶段
(盒式磁带 x 1)
Ⅱ阶段
(卡带 x 1,船 x 1)
Ⅲ阶段
(卡带 x 2,船 x 1)
驱动系统电机驱动(伺服)
传输格式1ca 在不同类型的卡带之间传输1ca 到 1bt 双向传输2ca 到 1bt 双向传输
转载
速度
最少 40 秒
+
磁带更换时间
最少 50 秒(可调)最少 90 秒(可调)
设备尺寸W400 × D510 × H1187 (mm)W433 x D490 x H625(毫米)W629 x D490 x H625(毫米)
安全机制有无卡匣、有无晶圆、过载检测、异常报警、紧急停止
电源供应AC200V (50 / 60Hz)


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