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OTD-25
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OTD-25

桌面式

2 升降台

1 晶圆盒到 1 晶舟盒的双向传输

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商品描述

桌面式

2 升降台

1 晶圆盒到 1 晶舟盒的双向传输

规格

模型
OTS-15
OTS-15
（独立式）
OTD-25
OTD-25
（桌面型）
OTD-35
OTD-35
（桌面型）
级数I 阶段
（盒式磁带 x 1）		Ⅱ阶段
（卡带 x 1，船 x 1）		Ⅲ阶段
（卡带 x 2，船 x 1）
驱动系统电机驱动（伺服）
传输格式1ca 在不同类型的卡带之间传输1ca 到 1bt 双向传输2ca 到 1bt 双向传输
转载
速度		最少 40 秒
+
磁带更换时间		最少 50 秒（可调）最少 90 秒（可调）
设备尺寸W400 × D510 × H1187 (mm)W433 x D490 x H625（毫米）W629 x D490 x H625（毫米）
安全机制有无卡匣、有无晶圆、过载检测、异常报警、紧急停止
电源供应AC200V (50 / 60Hz)


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