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FBUV系列
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FBUV系列

黑光规格全自动紫外线照射器是一种自动取出盒提供的晶圆框架，

用紫外线照射并储存的设备。划片后，进行紫外线照射，便于拾取，降低了胶带的粘合强度。

通过自动设置更改支持 8 英寸和 12 英寸晶圆框架。


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商品描述

黑光规格全自动紫外线照射器是一种自动取出盒提供的晶圆框架，

用紫外线照射并储存的设备。划片后，进行紫外线照射，便于拾取，降低了胶带的粘合强度。

通过自动设置更改支持 8 英寸和 12 英寸晶圆框架。


特征

  • 每个盒子都可以进行全自动照射。

  • 旋转转盘可实现均匀一致的紫外线照射。

  • 各种紫外线照射条件（时间设置或综合光强度设置）

  • 紫外线照度实时显示在触摸屏上。

  • 由于黑光规格，功耗低。

  • 兼容 8 英寸 / 12 英寸磁带。（可以从触摸面板自动更改设置）


规格

尺寸W770 x D1090 x H1200（毫米）
重量约 250 公斤
驱动空气0.4～0.5Mpa 65L/min
紫外线照度9mW/cm²以上
氮气0.4-0.5Mpa 100L/min
电源供应AC100V 50 / 60Hz 30A




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