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FHUV系列
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FHUV系列

高压汞/金属卤化物规格全自动紫外线照射装置是使用具有强辐射能量的灯的紫外线固化装置。

加载工作后，按下启动按钮，将工作从杂志中取出，照射紫外线，并全自动存储，直到完成杂志中的所有工作。
可以根据目标工作选择高压汞灯/金属卤化物灯。

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商品描述

高压汞/金属卤化物规格全自动紫外线照射装置是使用具有强辐射能量的灯的紫外线固化装置。

加载工作后，按下启动按钮，将工作从杂志中取出，照射紫外线，并全自动存储，直到完成杂志中的所有工作。
可以根据目标工作选择高压汞灯/金属卤化物灯。

特征

  • 紧凑的机身

  • 可设置10个配方（速度可根据设置进行更改）

  • 可在触摸屏上设置4种电源

  • 显示累计照射量和紫外线照射强度（仅照射期间）

  • 可根据照射目标选择高压汞灯/金属卤化物灯

  • 配备自动切换设置功能，可自动切换到不同尺寸

  • 不仅可以照射切割框，还可以照射夹持环。

  • 具有可以区分紫外线照射的完成和不完全的功能

        可用于LSI晶圆、存储器晶圆、LED晶圆、激光晶圆、传感器晶圆、功率器件晶圆等各种工艺。


规格

尺寸W1300 x D1400 x H1350（毫米）
重量约 400 公斤
驱动空气0.4Mpa以上
紫外线照度200mW/cm²以上
氮气0.2Mpa以上 100L/min以上
电源供应交流三相 200V 50 / 60Hz 100A

* 尺寸为 8 英寸型规格。


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