自动清洗机：A-CS-300

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适用于半自动切割机上切割、开槽后的工件的清洗和干燥。

二流体清洗、摆动式清洗喷嘴范围可以和晶圆尺寸配合实现优异的清洗效果。

最大可对应12英寸框架。

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商品描述

适用于半自动切割机上切割、开槽后的工件的清洗和干燥。

二流体清洗、摆动式清洗喷嘴范围可以和晶圆尺寸配合实现优异的清洗效果。

最大可对应12英寸框架。

特征

清洗台盘最大转速: 3,000 min-1
■可对应的框架尺寸: 5-12英寸 (ACCRETECH标准框架)
■清洗方法：二流体、冲洗水、干燥空气 (摆臂驱动）
■选配项：高压水清洗

规格

自动清洗机 ：A-CS-300